絶縁ゲート電界効果トランジスタ

 

1.はじめに

2.絶縁ゲート電界効果トランジスタとは

3.IGFETの基本構造と動作

4.電界効果

5.IGFETの動作特性(ゲート電圧-ドレイン電流特性)

6.IGFETの動作特性(ソース-ドレイン間電流)

7.半導体と絶縁膜の界面

8.絶縁膜中の電荷

9.IGFETの使い方

10.IGFETを使ったインバータ

11.論理回路

12.CMOS

13.CMOSの作り方(その1.フォトリソグラフィー)

14.CMOSの作り方(その2,不純物拡散)

15.CMOSの作り方(その3、IGFET主要部の作製)

16.CMOSの作り方(その4、金属電極の作製)

17.CMOSの作り方(その5,金属薄膜のパターニング)

18.微細化技術

19.まとめ