絶縁ゲート電界効果トランジスタ

 

1.はじめに

2.絶縁ゲート電界効果トランジスタとは

3.IGFETの基本構造と動作

4.電界効果

5.IGFETの動作特性(ゲート電圧-ドレイン電流特性)

6.IGFETの動作特性(ソース-ドレイン間電流特性)

7.半導体と絶縁膜の界面

8.絶縁膜中の電荷

9.IGFETの記号と基本的な回路

10.IGFETの作り方(その1.フォトリソグラフィー)

11.IGFETの作り方(その2.不純物拡散)

12.IGFETの作り方(その3.ゲート絶縁膜の作製)

13.IGFETの作り方(その4.金属薄膜の作製)

14.IGFETの作り方(その5.金属薄膜のパターニング)

15.まとめ