電界効果トランジスタ(1)絶縁ゲート型
1.はじめに
2.絶縁ゲート電界効果トランジスタとは
3.IGFETの基本構造と動作
4.電界効果
5.IGFETの動作特性(ゲート電圧-ドレイン電流特性)
6.IGFETの動作特性(ソース-ドレイン間電流特性)
7.半導体と絶縁膜の界面
8.絶縁膜中の電荷
9.IGFETの記号と基本的な回路
10.IGFETの作り方(その1.フォトリソグラフィー)
11.IGFETの作り方(その2.不純物拡散)
12.IGFETの作り方(その3.ゲート絶縁膜の作製)
13.IGFETの作り方(その4.金属薄膜の作製)
14.IGFETの作り方(その5.金属薄膜のパターニング)
15.まとめ