薄膜トランジスタ 1.はじめに 2.初期のTFT 3.アモルファスシリコン 4.TFTの素子構造 5.TFTとIGFETの違い 6.液晶ディスプレイ 7.アクティブマトリックス液晶ディスプレイ 8.低温ポリシリコン膜 9.低温ポリシリコンTFT 10.シリコン系以外のTFT 11.まとめ
薄膜トランジスタ
1.はじめに
2.初期のTFT
3.アモルファスシリコン
4.TFTの素子構造
5.TFTとIGFETの違い
6.液晶ディスプレイ
7.アクティブマトリックス液晶ディスプレイ
8.低温ポリシリコン膜
9.低温ポリシリコンTFT
10.シリコン系以外のTFT
11.まとめ